■ 성능
: ULPA FILTER는 입경 0.1∼0.12㎛ 입자에 대한 99.9995% 이상을 포집할 수 있는 초고성는 FILTER 입니다.

■ 용도
용도 : 반도체.초LSI 공장.CLEAN-BENCH등 경량이고 설치 및 취급이 용이함

■ 표준사양

NO	모델	규격(MM) HXWXD	풍량 (CMM)	압력손실 초기	압력손실 말기
	OPUNP 637	610X305X75	5
	OPUNP 667	610X610X75	11	12	24
	OPUNP 6127	610X1220X75	22
	OPUNP 635	610X305X65	5
	OPUNP 665	610X610X65	11	20	40
	OPUNP 6125	610X1220X65	22