■ 성능
ULPA FILTER는 입경 0.1∼0.12㎛ 입자에 대한 99.9995% 이상을 포집할 수 있는 초고성는 FILTER 입니다 .

■ 용도
반도체.초LSI 공장.CLEAN-BENCH등

■ 표준사양

	NO	모   델	규격(MM) HXWXD	풍량  (CMM)	압 력 손 실 초기(mmaq)	압 력 손 실 말기(mmaq)
	표준	OPU 667	610X610X75	7	25.4	50
		OPU 6127	610X1220X75	16
		OPU 661	610X610X150	15
		OPU 671	610X762X150	19
		OPU 691	610X915X150	26
		OPU 6121	610X1220X150	32
		OPU 662	610X610X292	28
		OPU 672	610X762X292	65
	다풍량	OPUSC 667	610X610X75	11	25.4	50
		OPUSC 6127	610X1220X75	25
		OPUSC 661	610X610X150	24
		OPUSC 671	610X762X150	28
		OPUSC 691	610X915X150	36
		OPUSC 6121	610X1220X150	48
		OPUSC 662	610X610X292	42
		OPUSC 672	610X762X292	52